Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường Schottky độ phân giải cực cao dòng SEM-X
Dòng SEM-X mang lại độ phân giải đột phá (0,6nm@15kV, 1,2nm@1kV) với khả năng chụp ảnh điện áp thấp, giảm thiểu hư hại mẫu. Nó tích hợp hệ thống quang học điện tử "Super-Tunnel", thấu kính phức hợp tĩnh điện-điện từ và công nghệ giảm tốc chùm tia kép cho hiệu suất không bị quang sai. Các tính năng bao gồm chế độ chân không thấp (10-180Pa), buồng khóa tải tương thích với màn hình 8 inch và hệ thống đa đầu dò (UD-SE/BSE, LD, LVD) cho phân tích đa năng. Lý tưởng cho ngành công nghiệp bán dẫn, khoa học vật liệu và khoa học sự sống, cung cấp khả năng tự động hóa và mở rộng cho các ứng dụng nghiên cứu.
Mô tả sản phẩm
CáiKính hiển vi điện tử quét phát xạ trường Schottky độ phân giải cực cao dòng SEM-XMáy quét hiển vi điện tử quét (SEM) định nghĩa lại công nghệ hình ảnh nano bằng cách kết hợp độ phân giải cực cao, độ nhạy điện áp thấp và khả năng phân tích tiên tiến. Được xây dựng dựa trên nền tảng của các mẫu máy hàng đầu (SEM4000X/Pro, SEM5000X/Pro, SEM3200/3300), máy tích hợp các công nghệ tiên tiến để đáp ứng nhiều nhu cầu nghiên cứu và công nghiệp khác nhau, từ phân tích lỗi bán dẫn đến đặc tính hóa vật liệu nano.
Kiến trúc công nghệ cốt lõi
Dòng sản phẩm SEM-X được thiết kế dựa trên năm trụ cột đổi mới:
Súng bắn electron phát xạ trường SchottkySúng bắn electron có độ sáng cao, tuổi thọ dài tạo ra chùm electron ổn định với dòng điện điều chỉnh được (1pA–65nA), cho phép chụp ảnh chính xác các mẫu vật mỏng manh. Các sợi đốt được căn chỉnh sẵn (SEM3200/3300) đảm bảo hiệu suất ổn định, trong khi cấu trúc hai cực dương (SEM3200) giúp tăng độ phân giải ở điện áp thấp lên 10% và tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu lên 30%.
"Super OpticsCông nghệ độc quyền này loại bỏ hiện tượng giao thoa chùm tia, giảm thiểu hiệu ứng tích điện không gian và quang sai thấu kính. Kết hợp với các thấu kính mục tiêu phức hợp tĩnh điện-điện từ (SEM5000Pro/5000X), nó đạt được độ phân giải 0,6nm@15kV (SEM5000X) và 1,2nm@1kV (SEM5000Pro), vượt qua giới hạn của kính hiển vi điện tử quét dây tóc vonfram truyền thống (SEM3300 đạt 2,5nm@15kV).
Công nghệ giảm tốc chùm tia kép: Tích hợp giảm tốc chùm tia trong thấu kính (giảm thiểu mất năng lượng electron) và giảm tốc đồng thời bàn đặt mẫu (tăng cường thu tín hiệu). Điều này giúp giảm điện áp tiếp xúc trong khi vẫn duy trì độ phân giải, rất quan trọng đối với các mẫu không dẫn điện (ví dụ: polyme, mô sinh học).
Chế độ chân không thấp: Hoạt động ở áp suất 10–180Pa mà không cần khẩu độ giới hạn áp suất, sử dụng buồng chân không thấu kính mục tiêu được thiết kế đặc biệt để đạt độ phân giải 1,5nm@30kV. Quá trình ion hóa khí trung hòa điện tích bề mặt (ví dụ: bảng mạch PCB, vỏ dứa), cho phép chụp ảnh các vật liệu dẫn điện kém (SEM4000Pro).
Hệ thống đa đầu dòBao gồm các đầu dò UD-SE/BSE trong cột (độ phân giải cao), đầu dò LD gắn trong buồng (hình ảnh lập thể), đầu dò LVD chân không thấp (bắt photon) và phân tích STEM/EDS/EBSD khô tùy chọn.
Các thành phần chính và thông số kỹ thuật hiệu năng
Dòng sản phẩm SEM-X có các thành phần dạng mô-đun được tối ưu hóa cho tính linh hoạt:
Thành phần | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
Súng điện tử | Phát xạ trường Schottky (độ sáng cao); tùy chọn cực dương kép (SEM3200) để tăng độ phân giải lên 10%. |
Nghị quyết | 0,6nm@15kV (SEM5000X), 1,2nm@1kV (SEM5000Pro), 1,9nm@1kV (SEM4000X), 2,5nm@15kV (SEM3300). |
Ống kính mục tiêu | Thấu kính ghép tĩnh điện-điện từ (SEM5000Pro/5000X); quang sai màu giảm 12%, quang sai cầu giảm 20%, tổng cộng giảm 30% (SEM5000X). |
Giảm tốc chùm tia | Chế độ kép: kết hợp giữa kính hiển vi điện tử quét (SEM) trong ống kính và bàn đặt mẫu (SEM5000X/3300); giảm tốc 500V cho vật liệu xốp SBA-15. |
Hệ thống chân không | Chế độ chân không thấp (10–180Pa, SEM4000Pro/5000Pro); hoàn toàn tự động không dầu (dòng SEM6000). |
Giai đoạn mẫu | Bàn soi mẫu cơ học tâm đối xứng (hành trình X/Y 110mm, độ lặp lại ±0,6μm); 8 inch (SEM4000Pro/5000Pro). |
Máy dò | UD-SE/BSE, LD, LVD (chân không thấp), tùy chọn STEM/EDS/EBSD (SEM4000Pro), đầu dò trong ống kính (SEM3300/5000Pro). |
Tự động hóa | Tự động điều chỉnh độ sáng/độ tương phản, tự động lấy nét, tự động hiệu chỉnh màu sắc, nhận diện mẫu (dòng SEM4000X/6000). |
Ứng dụng trong nhiều ngành công nghiệp
Bán dẫn: Phân tích lỗi chip IC (phay mặt cắt ngang, chuẩn bị lát mỏng TEM), kiểm tra nút 7nm/5nm (tích hợp FIB-SEM lấy cảm hứng từ SEM5000X/DB550).
Khoa học Vật liệu: Phân tích đặc tính cấu trúc nano (vật liệu xốp SBA-15, cực âm pin lithium), phân tích vật liệu composite (sợi carbon, polyme).
Khoa học sự sống: Tái tạo cấu trúc tế bào thần kinh 3D (SEM6000-Bio), nghiên cứu hình thái tế bào (tế bào sắc tố ánh kim trên da thằn lằn), chụp ảnh mô dẫn truyền (chế độ chân không thấp).
Kiểm soát chất lượng công nghiệp: Kiểm tra sợi thủy tinh PCB (chân không thấp 100Pa), đánh giá hư hỏng sợi polymer (chế độ điện áp thấp), phát hiện lỗi linh kiện ô tô.
Ưu điểm vượt trội so với kính hiển vi điện tử quét thông thường
Độ phân giải và tốc độ: Tốc độ chụp ảnh nhanh hơn gấp 5 lần so với các kính hiển vi điện tử quét thông thường (2×100 triệu pixel/giây, thời gian giữ ảnh 10 ns/pixel, SEM6000), với độ phân giải dưới nanomet.
Độ nhạy điện áp thấpCho phép chụp ảnh các mẫu nhạy cảm với chùm tia (ví dụ: pin lithium, mô sinh học) mà không cần lớp phủ.
Tính linh hoạt: Chuyển đổi liền mạch giữa chế độ chân không cao (độ phân giải nanomet) và chế độ chân không thấp (mẫu dễ bị tích điện).
Khả năng mở rộngHỗ trợ các phụ kiện tùy chọn (bộ thao tác nano, hệ thống phun khí, bệ làm lạnh) cho các ứng dụng chuyên biệt.
Từ khóa SEO
Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường Schottky độ phân giải cực cao
Kính hiển vi điện tử quét SEM-X Series
SEM độ phân giải cao điện áp thấp
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) siêu đường hầm
Công nghệ giảm tốc chùm tia kép SEM
SEM độ phân giải 0,6nm
SEM Chế độ chân không thấp
Tương thích với Loadlock SEM 8 inch
Kính hiển vi điện tử quét đa đầu dò cho khoa học vật liệu
SEM phân tích nano tự động
