Hệ thống đo địa hình 3D quang phổ tiêu điểm dòng MTS

Tổng quan về công nghệ

Dòng sản phẩm MTS đại diện cho một bước đột phá trong đo lường bề mặt 3D, sử dụng công nghệ tiêu điểm quang phổ thiết lập mối tương quan chính xác giữa khoảng cách và bước sóng thông qua các nguyên lý tán sắc quang học. Hệ thống tiên tiến này cho phép đo chính xác cao nhiều loại bề mặt vật liệu khác nhau, bao gồm vật liệu trong suốt/mờ đục, bề mặt phản chiếu và mẫu vật có màu. Không giống như các phương pháp đo truyền thống, hệ thống MTS không yêu cầu quét theo trục Z, mang lại kết quả nhanh hơn và chính xác hơn.

Công nghệ cốt lõi sử dụng một hệ thống quang học tinh vi, trong đó ánh sáng trắng được hội tụ ở các khoảng cách khác nhau dọc theo trục quang học, bao phủ tất cả các dải ánh sáng nhìn thấy được tại điểm tiêu cự. Cách tiếp cận tiên tiến này cho phép hệ thống khắc phục những hạn chế của các kỹ thuật đo lường thông thường, mang lại hiệu suất vượt trội trong các tình huống đo lường khó khăn.

Ưu điểm công nghệ chính

Khả năng đo lường độ chính xác cao

Dòng sản phẩm MTS đạt được độ chính xác đo lường vượt trội với độ phân giải trục Z lên đến 20nm và độ chính xác trong phạm vi ±80nm. Hệ thống tích hợp các thang đo lưới có độ chính xác cao (0,1μm) trên cả trục X và Y, đảm bảo độ chính xác định vị vượt trội. Công nghệ cảm biến tiêu điểm quang phổ cho phép đo đồng trục, loại bỏ hiệu ứng bóng và cho phép đo trên các bề mặt có góc nghiêng lên đến 45° đối với bề mặt phản xạ và khoảng 80° đối với bề mặt khuếch tán.

Hệ thống chuyển động tiên tiến

Hệ thống này có một nền tảng dẫn động bằng động cơ tuyến tính bốn trục với phạm vi di chuyển tiêu chuẩn 350×350mm, có khả năng đạt tốc độ quét lên đến 80mm/s. Độ chính xác định vị trục XY đạt ±0,3μm với độ lặp lại ±0,15μm, trong khi trục Z cung cấp hành trình 5mm với độ chính xác định vị ±0,2μm. Hệ thống chuyển động chính xác tốc độ cao này giúp tăng cường đáng kể hiệu quả đo lường so với các nền tảng dẫn động bằng vít thông thường.

Khả năng tương thích với nhiều loại vật liệu

Một ưu điểm đáng kể của hệ thống MTS là khả năng đo lường nhiều loại vật liệu khác nhau mà không cần hiệu chỉnh. Công nghệ này phù hợp với các vật liệu trong suốt/không trong suốt, bề mặt khuếch tán/phản xạ, vật liệu hấp thụ, mẫu vật có màu và cả bề mặt thô/bóng. Tính linh hoạt này làm cho nó phù hợp với nhiều ứng dụng công nghiệp khác nhau mà không cần các quy trình thiết lập phức tạp.

Các thành phần và thông số kỹ thuật của hệ thống

Cấu hình mô-đun quang học

Hệ thống cung cấp nhiều tùy chọn cấu hình với phạm vi đo từ 0,2mm đến 10,6mm, hỗ trợ từ 192 đến 1200 điểm trên mỗi dòng. Đường kính điểm có thể nhỏ đến 2μm, cung cấp các mô hình độ phân giải ngang tuyệt vời đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cụ thể, với tốc độ lấy mẫu đạt tới 36.000Hz cho các ứng dụng tốc độ cao.

Khả năng phần mềm và phân tích

Hệ thống phần mềm tích hợp cung cấp các công cụ phân tích toàn diện cho các phép đo 2D và 3D, bao gồm tính toán chiều dài, chiều rộng, chiều cao, góc và thể tích. Hệ thống hỗ trợ báo cáo tự động ở nhiều định dạng và có thể được tích hợp với nền tảng kết nối dữ liệu Q-DTS và nền tảng phân tích hình ảnh Avocado AI để tăng cường chức năng.

Các kịch bản ứng dụng

Ngành công nghiệp bán dẫn

Dòng sản phẩm MTS nổi bật trong các ứng dụng bán dẫn, bao gồm đo chiều cao gờ, phân tích độ sâu/chiều rộng rãnh và kiểm tra wafer. Độ chính xác cao và khả năng vượt trội của hệ thống này làm cho nó trở nên lý tưởng cho việc kiểm soát chất lượng trong quy trình sản xuất và đóng gói chip.

Sản xuất điện tử

Hệ thống này dùng để kiểm tra mạch in (PCB) và linh kiện điện tử, cung cấp khả năng đo lường đáng tin cậy về hình dạng mạch, chất lượng mối hàn và độ phẳng của linh kiện. Phương pháp đo không tiếp xúc đảm bảo không gây hư hại cho các linh kiện điện tử nhạy cảm.

Kỹ thuật Ô tô và Chính xác

Công nghệ này được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực kỹ thuật chính xác, bao gồm kiểm tra phụ tùng ô tô, đo lường linh kiện cơ khí và đánh giá chất lượng bề mặt. Khả năng xử lý nhiều loại bề mặt khác nhau của hệ thống giúp nó trở nên hữu ích trong nhiều ứng dụng sản xuất.

Tùy chỉnh và tích hợp

Dòng sản phẩm MTS hỗ trợ nhiều tùy chọn tùy chỉnh, bao gồm kích thước nền tảng lớn hơn và các chức năng phần mềm chuyên dụng. Hệ thống có thể được tích hợp với các hệ thống quản lý sản xuất (MES) hiện có thông qua nền tảng Q-DTS, cho phép trao đổi dữ liệu thời gian thực và tối ưu hóa quy trình. Thiết kế dạng mô-đun cho phép nâng cấp và mở rộng trong tương lai dựa trên các yêu cầu đo lường ngày càng phát triển.

Từ khóa SEO

1. hệ thống đo quang phổ confocal

   
   

2. Đo đạc địa hình 3D

   
   

3. đo lường bề mặt không tiếp xúc

   
   

4. kiểm tra 3D tự động

   
   

5. hệ thống đo lường độ chính xác cao

   
   

6. cảm biến quang phổ đồng tiêu

   
   

7. giải pháp đo lường công nghiệp

   
   

8. Đo lường bề mặt 3D

   
   

9. đo quang tự động

   
   

10. thiết bị đo lường chính xác