Hệ thống đo địa hình 3D dòng MTS

Công nghệ đo lường 3D mang tính cách mạng

Dòng sản phẩm MTS đại diện cho một bước đột phá trong đo lường bề mặt 3D không tiếp xúc, sử dụng công nghệ kính hiển vi giao thoa quang phổ tiên tiến để khắc phục những hạn chế của các phương pháp đo truyền thống. Không giống như các kính hiển vi kỹ thuật số thông thường yêu cầu xếp chồng độ sâu hoặc các hệ thống kính hiển vi giao thoa laser với tốc độ quét chậm, hệ thống MTS cung cấp dữ liệu bề mặt 3D hoàn chỉnh chỉ trong một chu kỳ đo nhanh chóng.

Ưu điểm công nghệ cốt lõi

Cảm biến tiêu điểm quang phổ của hệ thống hoạt động dựa trên nguyên lý tán sắc quang học, thiết lập sự tương ứng chính xác giữa bước sóng và khoảng cách để đạt độ chính xác đo lường vượt trội. Công nghệ này cho phép:

• Đo lường tốc độ caoTốc độ lấy mẫu 6000Hz với bệ XY dẫn động bằng động cơ tuyến tính, hoạt động nhanh hơn gấp 4 lần so với các hệ thống dẫn động bằng vít thông thường.

  
  

• Độ phân giải vượt trộiĐộ phân giải trục Z với độ chính xác ±80nm, có khả năng đo các chi tiết nhỏ đến 2μm.

  
  

• Tính linh hoạt của vật liệuHỗ trợ các vật liệu trong suốt/mờ đục, bề mặt phản chiếu và bề mặt nhám mà không cần xử lý bề mặt.

  
  

• Vận hành không tiếp xúcNgăn ngừa hư hỏng mẫu trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn của phép đo.

• Đo đạc địa hình của đồng hồ
  

  
  

Cấu hình hệ thống nâng cao

Sự xuất sắc của hệ thống quang học

Hệ thống MTS tích hợp các mô-đun quang học tiên tiến với nhiều tùy chọn cấu hình (MTS 01/02), cung cấp phạm vi đo từ 0,2mm đến 10,6mm. Hệ thống này có khả năng thu thập điểm mật độ cao (192-1200 điểm/dòng) và kiểm soát điểm chính xác (khoảng cách 5-10μm), đảm bảo bao phủ toàn bộ bề mặt.

Nền tảng chuyển động chính xác

• Bệ nâng điện 4 trục với phạm vi di chuyển 350×350mm.

  
  

• Độ chính xác định vị XY ±0,0 và độ lặp lại ±0,15μm.

  
  

• Hành trình trục Z 5mm với độ chính xác định vị ±0,2μm.

  
  

• Quét tốc độ cao 80mm/giây với độ ổn định vượt trội

  
  

Tích hợp phần mềm thông minh

Hệ thống tích hợp phần mềm phân tích chuyên nghiệp với khả năng thu nhận quang phổ confocal, lập bản đồ điều hướng và đo lường 2D/3D toàn diện. Kết nối dữ liệu Q-DTS tùy chọn và nền tảng Avocado AI cho phép phân tích nâng cao và báo cáo tự động ở nhiều định dạng (Word, Excel).

Ứng dụng công nghiệp

Dòng sản phẩm MTS phục vụ các chức năng kiểm soát chất lượng quan trọng trong nhiều ngành công nghiệp:

• Bán dẫnĐo chiều cao gờ, phân tích rãnh trên tấm wafer, phát hiện khuyết tật.

  
  

• Điện tửKiểm tra mạch in (PCB), xác minh độ phẳng của linh kiện.

  
  

• Ô tôPhân tích địa hình bề mặt, đo lường chi tiết chính xác.

  
  

• Thiết bị y tếKiểm tra chất lượng bề mặt cấy ghép, đặc điểm vi mô

  
  

• Nghiên cứu & Phát triểnĐặc tính vật liệu, nghiên cứu bề mặt

  
  

Lợi thế cạnh tranh

Các công nghệ thay thế, dòng sản phẩm MTS Series thể hiện những cải tiến đáng kể:

• So với kính hiển vi kỹ thuật sốLoại bỏ yêu cầu xếp chồng độ sâu, cung cấp dữ liệu 3D thực sự.

  
  

• so sánh với Hệ thống Laser ConfocalTốc độ đo nhanh hơn, phạm vi quan sát rộng hơn.

  
  

• so với giao thoa kế ánh sáng trắngHiệu năng tốt hơn trên bề mặt gồ ghề, chi phí bảo trì thấp hơn.

  
  

• So với các phương pháp truyền thốngĐộ chính xác cao hơn, vận hành tự động, khả năng lặp lại tốt hơn.

  
  

Thiết kế dạng mô-đun của hệ thống cho phép tùy chỉnh theo nhu cầu ứng dụng cụ thể, đồng thời vẫn duy trì độ tin cậy cần thiết cho môi trường công nghiệp. Với 20 năm kinh nghiệm trong ngành và phục vụ gần 2.000 khách hàng công nghiệp, Lionhearted Technology đảm bảo dòng sản phẩm MTS đáp ứng được các yêu cầu đo lường khắt khe nhất.

Từ khóa SEO

1. Hệ thống đo địa hình 3D

   
   

2. đo quang phổ confocal

   
   

3. thiết bị đo lường bề mặt

   
   

4. máy quét 3D không tiếp xúc

   
   

5. đo bề mặt độ chính xác cao

   
   

6. Hệ thống đo lường 3D công nghiệp

   
   

7. cảm biến quang phổ đồng tiêu

   
   

8. kiểm tra bề mặt tự động